ماسک الاینر (MASK Aligner)
مشخصات فنی دستگاه:
- قابلیت تنظیم لایه ها روی هم با دقت ۲ میکرون
- جابجایی ویفر در ۴ محور
- قابلیت جابجایی میکروسکوپ در سه محور
- شامل سنسور اندازه گیری شدت و توزیع تابش نور روی سطح ویفر
- قابلیت کنترل توان نور UV خروجی و زمان تابش دهی
- استفاده از سیستم خنک کننده برای لامپ
- توان لامپ فرابنفش ۳۰۰ وات
پمپ سرنگی
- قابلیت تا ۸ تزریق یا مکش
- حداقل ظرفیت تزریق تا یک نانولیتر بر دقیقه
- سایز سرنگ از ۱ میلی لیتر تا ۱۰ میلی لیتر
- سرعت تزریق بین ۱ میکرولیتر بر دقیقه تا ۱۰ میلی لیتر بر دقیقه
- وضعیت قرار گیری به صورت افقی و عمودی
- استفاده از انکدر برای رسیدن به دقت های بالا
- نمایشگر LCD
- قابلیت اتصال به PC و کنترل از طریق آن